高弾性高分子合成材料を用いて粒子を作製し、軟體粒子の外にダイヤモンド微粉を塗布して弾性研磨研磨剤を作製した。圧縮空気によって弾性研磨剤をワーク表面に加速噴射し、研磨剤は衝撃力を受けた後、ワーク表面に伸展し、摺動摩擦して研磨作用を生じる。この研磨方法は加工の均一性がよく、単粒子の加工除去量が極めて小さく、各種異形ワークの表面超微細研磨加工に非常に適している。

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